【摘 要】
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采用自主研发的FA/O碱性清洗液对多层Cu布线表面粗糙度进行优化。通过改变清洗液中螯合剂与活性剂的体积分数，做单因素实验，得到最佳配比。利用原子力显微镜观察布线片表面清洗
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采用自主研发的FA/O碱性清洗液对多层Cu布线表面粗糙度进行优化。通过改变清洗液中螯合剂与活性剂的体积分数，做单因素实验，得到最佳配比。利用原子力显微镜观察布线片表面清洗前后粗糙度的变化，电化学测试仪测试各种清洗液对晶圆表面的腐蚀情况。通过对比实验得出当FA/O碱性清洗液中FA/O II螯合剂体积分数为0.015%，O-20活性剂体积分数为0.15%时，表面粗糙度值最小为1.39 nm，而且表面和界面均没有腐蚀。
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