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伴随着集成电路芯片的不断轻薄化,各种高质量的超薄抛光片衬底需求日益增加。介绍了一种简捷、方便的手动贴膜方法,并将其应用在200μm厚7.6cm硅单晶免清洗单面抛光片加工过程中,通过与粘蜡抛光相比较,发现贴膜抛光实用性更强、成品率更高且成本更低。
超薄硅片贴膜抛光技术研究
【摘 要】
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伴随着集成电路芯片的不断轻薄化,各种高质量的超薄抛光片衬底需求日益增加。介绍了一种简捷、方便的手动贴膜方法,并将其应用在200μm厚7.6cm硅单晶免清洗单面抛光片加工过
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十六研究所
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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2011年1期
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