纳米技术将在450mm晶圆上得到开发

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英特尔院士、半导体国际技术蓝图组织主席PaoloGargini日前表示,标准化可能比过去还要更进一步,使纳米技术能在450mm直径的晶圆上得到开发。在Semicon Europa展览会的开幕新闻发布会问答中,Gargini被问到:“纳米技术能不能遵循与半导体制造相同的规则?”Gargini澄清道,如果纳米技术的定义是小于100纳米关键尺寸的结构,则英特尔早已经 Intel academician PaoloGargini, president of the International Technology Roadmap for Semiconductors, said a few days ago that standardization may go further than in the past, enabling nanotechnology to be developed on 450mm diameter wafers. At the opening press conference for Semicon Europa, Gargini was asked: “Can nanotechnology follow the same rules as for semiconductor manufacturing?” Gargini clarified that if nanotechnology was defined as a critical dimension of less than 100 nanometers Structure, Intel already long ago
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