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国内外单晶硅工业现状
国内外单晶硅工业现状
来源 :硅铝化合物 | 被引量 : 0次 | 上传用户:feiyelsh
【摘 要】
:
硅(Si)单晶作为现代信息的关键性支撑材料,可以说是目前世界上最重要的材料,在60年代开始批量生产以来,年均增长率为12%-16%,目前每年使用Si单晶5000-6000t,其中80%以上是直接Si(CZ)片
【出 处】
:
硅铝化合物
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
单晶硅工业
生产工艺
市场分析
生产规范
基础
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硅(Si)单晶作为现代信息的关键性支撑材料,可以说是目前世界上最重要的材料,在60年代开始批量生产以来,年均增长率为12%-16%,目前每年使用Si单晶5000-6000t,其中80%以上是直接Si(CZ)片。
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