硅片直接键合结构的界面电荷控制

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【摘要】

：

硅片直接键合结构的界面电荷控制＝Ｉｎｔｅｒｆａｃｅｃｈａｒｇｅｃｏｎｔｒｏｌｏｆｄｉｒｅｃｔｂｏｎｄｅｄｓｉｌｉｃｏｎｓｔｒｕｃｔｕｒｅｓ［刊，英］／Ｂｅｎｇｔｓｓｏｎ，Ｓ．…∥Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．－１９８９．６６（３）．－１２３１～１２３９采用... Interface chargecontrolofdirectbondedsiliconstructures [], / Bengtsson, S. ... ∥ J. Appl. Phys. -1989.66 (3). -1

【出处】

：

微电子学

【发表日期】

：

1994年02期

【关键词】

：

直接键合界面态密度表面势平带电压电学测量表面处理氧化层电学性能亲水硅表面

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