射频分子束外延生长AlInGaN四元合金

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：oyxz1988

【摘要】

：

利用射频等离子体辅助分子束外延（RF-MBE）技术在蓝宝石衬底上外延了铝铟镓氮（AlInGaN）四元合金,通过改变Al源的束流生长了不同组分的AlInGaN四元合金,材料生长过程中采用反射式高

【作者】

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王保柱王晓亮

【机构】

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河北科技大学信息科学与技术学院,中国科学院半导体研究所

【出处】

：

无机材料学报

【发表日期】

：

2009年3期

【关键词】

：

铝铟镓氮分子束外延结构特性光学特性 AlInGaN RF-MBE structural properties optical properti

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利用射频等离子体辅助分子束外延（RF-MBE）技术在蓝宝石衬底上外延了铝铟镓氮（AlInGaN）四元合金,通过改变Al源的束流生长了不同组分的AlInGaN四元合金,材料生长过程中采用反射式高能电子衍射（RHEED）进行了在位检测.通过扫描电镜（SEM）、卢瑟福背散射（RBS）、X射线衍射（XRD）和阴极荧光（CL）等测试手段表征了AlInGaN四元合金的结构和光学特性.研究结果表明：在GaN层上生长AlInGaN外延层时,外延膜呈二维生长;当铝炉的温度为920℃时,外延AlInGaN四元合金外延薄膜中A

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