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氧化铝薄膜磁控溅射工艺参数对PET基体温度的影响
氧化铝薄膜磁控溅射工艺参数对PET基体温度的影响
来源 :包装工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:niyon
【摘 要】
:
研究了在柔性基体PET上磁控溅射氧化铝薄膜的过程中,离子刻蚀、负偏压和溅射功率对基体温度的影响,结果表明3个参数都对基体温度产生影响,为了防止PET的受热变形,离子刻蚀功率应
【作 者】
:
林晶
刘壮
孙智慧
高德
【机 构】
:
哈尔滨商业大学,印刷包装材料与技术北京市重点实验室,浙江大学宁波理工学院
【出 处】
:
包装工程
【发表日期】
:
2008年10期
【关键词】
:
磁控溅射
陶瓷薄膜
基体温度
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研究了在柔性基体PET上磁控溅射氧化铝薄膜的过程中,离子刻蚀、负偏压和溅射功率对基体温度的影响,结果表明3个参数都对基体温度产生影响,为了防止PET的受热变形,离子刻蚀功率应控制在500W以下,负偏压应控制在200V以下,溅射功率应低于1000W。
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