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期刊论文
超大规模集成电路硅片的内吸杂
超大规模集成电路硅片的内吸杂
来源 :材料导报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xilotola
【摘 要】
:
介绍了吸杂的分类与效果以及内吸杂工艺,并综述了金属在硅中的性质,主要阐明了氧在内吸杂中的作用,简述了氮对吸杂的影响,并讨论了内吸杂的物理机理.最后探讨了今后吸杂的发
【作 者】
:
汤艳
杨德仁
马向阳
李东升
樊瑞新
阙端麟
【机 构】
:
浙江大学硅材料科学国家重点实验室
【出 处】
:
材料导报
【发表日期】
:
2003年5期
【关键词】
:
超大规模集成电路
硅片
内吸杂工艺
金属
氧
杂质
热处理
silicon
internal gettering
metal
oxygen
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介绍了吸杂的分类与效果以及内吸杂工艺,并综述了金属在硅中的性质,主要阐明了氧在内吸杂中的作用,简述了氮对吸杂的影响,并讨论了内吸杂的物理机理.最后探讨了今后吸杂的发展方向.
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