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对压弯光栅的线密度进行了实验研究。首先制作了大变化率的变线距光栅（约9．2line／nm），并选取薄玻璃（0．16nm）作为光栅基底材料。其后采用长程面形仪测试压弯后光栅面形，使用衍射法测试压弯前后光栅线密度，从而得到线密度的变化曲线。实验与理论计算结果误差小于0．41line／mm rms。
压弯光栅线密度检测
【摘 要】
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对压弯光栅的线密度进行了实验研究。首先制作了大变化率的变线距光栅（约9．2line／nm），并选取薄玻璃（0．16nm）作为光栅基底材料。其后采用长程面形仪测试压弯后光栅面形，使用衍射法测试
【机 构】
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中国科学技术大学国家同步辐射实验室
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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2006年6期
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