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论述了为研制液体火箭发动机关键件——层板式喷注器而采用的光刻工艺技术。该项工艺技术交叉采用微电子领域的光刻技术与精密机械加工技术 ,达到了超精加工的目的
层板式喷注器光刻工艺
【摘 要】
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论述了为研制液体火箭发动机关键件——层板式喷注器而采用的光刻工艺技术。该项工艺技术交叉采用微电子领域的光刻技术与精密机械加工技术 ,达到了超精加工的目的
【机 构】
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陕西动力机械设计研究所
【出 处】
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航天工艺
【发表日期】
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2000年1期
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