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在对器件结构材料应力进行分析和测量的基础上，提出了控制和优化器件结构中材料应力的几种方法，包括合理选择工艺条件、采用多层复合膜技术，确定双层结构的最佳厚度值以及选择适当的材料种类等，实际应用结果表明，这些方法是有效的和可行的。
器件结构中材料应力的控制和优化方法
【摘 要】
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在对器件结构材料应力进行分析和测量的基础上，提出了控制和优化器件结构中材料应力的几种方法，包括合理选择工艺条件、采用多层复合膜技术，确定双层结构的最佳厚度值以及选择适
【机 构】
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西安电子科技大学微电子所
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1996年2期
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