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在大功率 RF 离子源中，激励器的作用是产生等离子体，阻抗匹配电路是激励器吸收 RF 功率的关键。将激励器等效阻抗视为一个电阻和一个电感的串联，采用了一种由一个RF变压器并和两个可调电容组成的阻抗匹配电路，给出了视RF变压器为理想变压器时阻抗匹配电路的分析模型，推导了阻抗匹配时两个可调电容的电气参数。当激励器实验装置使用一个石英玻璃激励器时，搭建了一个阻抗匹配电路，成功地将RF功率耦合进激励器并产生了等离子体。