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结合西门子OEM开发软件开放性强、改进的逐次两点误差分离法效果好以及最小区域平面度评估法精度高等特点,开发了基于西门子840D的在线测量系统,实现了对光学玻璃平面度误差的高效、精密测量。
基于西门子840D的平面度在线测量系统
【摘 要】
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结合西门子OEM开发软件开放性强、改进的逐次两点误差分离法效果好以及最小区域平面度评估法精度高等特点,开发了基于西门子840D的在线测量系统,实现了对光学玻璃平面度误差
【机 构】
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上海理工大学机械工程学院
【出 处】
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机械工程与自动化
【发表日期】
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2015年1期
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