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<正> X射线荧光光谱仪由高压发生器、分光谱仪、记录系统组成。可以对12mg~92u定性定量分析。仪器采用国产步进电机控制测角仪。重复性检查可达0.36%(从低角度和高角度到测量的角度,检查X光强度的变化)。晶体、狭缝、真空系统、样品分别自动选择。控制系统采用TTL电路,实现半自动控制过程。