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以普通玻璃作为衬底材料,采用射频磁控溅射方法制备了氧化锌（ZnO）透明导电薄膜,通过X射线衍射（XRD）和X射线光电子能谱（XPS）测试,研究了衬底温度对薄膜微观结构及其结晶性能的影响.结果表明：所制备的ZnO薄膜均为（002）晶面择优取向生长的多晶薄膜,其微观结构和结晶性能与衬底温度密切相关.衬底温度对ZnO薄膜的织构系数TC（hkl）、平均晶粒尺寸、位错密度、晶格应变和晶格常数都具有不同程度的影响,当衬底温度为800 K时,ZnO薄膜样品的织构系数TC（002）最高（4.929）、平均晶粒尺寸最大（2