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期刊论文
电容传感器对介质厚度的检测
电容传感器对介质厚度的检测
来源 :传感器世界 | 被引量 : 4次 | 上传用户:ceylong2000
【摘 要】
:
本文论述用电容传感器检测介质材料厚度,对测量灵敏度和检测厚度精度进行分析,指出减小介质介电常数变化影响的方法。本文提出的频率变换型测厚方法,所需设备结构简单、处理方法先进、精度高,还具有自校和自补偿功能。
【作 者】
:
倪德儒
倪佳
【机 构】
:
昆明理工大学123栋201室,北京南天电脑公司
【出 处】
:
传感器世界
【发表日期】
:
1998年12期
【关键词】
:
电容传感器
介质厚度
灵敏度
误差
Capacitance-based sensor
Medium thickness
Sensitivity
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本文论述用电容传感器检测介质材料厚度,对测量灵敏度和检测厚度精度进行分析,指出减小介质介电常数变化影响的方法。本文提出的频率变换型测厚方法,所需设备结构简单、处理方法先进、精度高,还具有自校和自补偿功能。
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