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本文论述用电容传感器检测介质材料厚度,对测量灵敏度和检测厚度精度进行分析,指出减小介质介电常数变化影响的方法。本文提出的频率变换型测厚方法,所需设备结构简单、处理方法先进、精度高,还具有自校和自补偿功能。
电容传感器对介质厚度的检测
【摘 要】
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本文论述用电容传感器检测介质材料厚度,对测量灵敏度和检测厚度精度进行分析,指出减小介质介电常数变化影响的方法。本文提出的频率变换型测厚方法,所需设备结构简单、处理方法先进、精度高,还具有自校和自补偿功能。
【机 构】
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昆明理工大学123栋201室,北京南天电脑公司
【出 处】
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传感器世界
【发表日期】
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1998年12期
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