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简述了氟化钙（CaF2）晶体的发展历史,总结其光学特性,介绍了氟化钙晶体的生长新工艺技术和发展。综述了氟化钙晶体在现代信息技术中的应用,特别对氟化钙晶体在紫外波段激光或光刻系统中的应用和发展状况作了重点说明,同时进一步指出了目前存在的问题,最后对氟化钙晶体的发展前景作了展望。
氟化钙（CaF2）晶体研发进展
【摘 要】
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简述了氟化钙（CaF2）晶体的发展历史,总结其光学特性,介绍了氟化钙晶体的生长新工艺技术和发展。综述了氟化钙晶体在现代信息技术中的应用,特别对氟化钙晶体在紫外波段激光或光
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所 上海 201800,上海 20
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2003年08期
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