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电子背散射衍射（EBsD）是一种较新的用来分析多晶体显微结构和组织的扫描电子显微镜技术，其试样的制备对其成像质量至关重要。通过对工业纯钛EBSD试样制备经验的总结，介绍了工业纯钛EBSD试样制备过程中切割、磨制、机械抛光、离子刻蚀和电解抛光等关键操作．提出了在EBSD试样制备过程中应注意的事项和技术要点。