退火处理对DLC薄膜结构及摩擦学性能的影响

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目的研究退火处理对DLC薄膜结构及摩擦学性能的影响,并讨论它们之间的相互关系。方法采用平板空心阴极等离子体增强化学气相沉积系统,以C2H2和Ar作为反应气源制备DLC薄膜,将DLC薄膜在大气环境中进行不同温度的退火处理。采用扫描电子显微镜、Raman光谱仪及金相显微镜、薄膜应力测试仪及球-盘摩擦实验仪等,对退火处理前后的DLC薄膜结构、应力及摩擦学性能等进行测试分析。结果在较低温度(θ≤300℃)下退火,随退火温度的增加,薄膜中sp^3-C的相对含量缓慢减少,结构没有发生明显的变化,内应力降低,薄膜的摩擦
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