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金属闻化合物，例如Ni-Al、Ti-Al系合金，是指不同种类的原子长程有序排列构成的有较确定化学当量比的合金相．这类合金相原子间结合力强，具有高温结构材料所期望的优异性能．然而这类合金普遍存在室温塑性差、高温抗蠕变性差以及环境脆性敏感等问题．本文利用激光干涉图样对应的温度分布，空间选择性地产生Ni和Al的金属间化合物Ni，Al，以线阵或点阵的方式局域金属间化合反应形成了软、硬属性交替的薄膜材料，为改善塑性及脆性敏感等问题探索新的解决途径．对所制备样品进行的白光干涉显微镜（WLI）和原子力显微镜（AFM）分