波纹管密封机械真空泵的研制

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本文介绍了波纹管密封真空泵的研究。BMB-25型泵采用悬臂摇摆式结构,由主轴的斜端部分驱动草帽状的活塞转动且作上下摆动。用不锈钢波纹管作轴密封,气密程度取决于密封结构和泵的材质。活塞法兰盘上开有槽,槽中装有固定隔板。隔板固定于上下泵盖,这样就使活塞把泵腔分成进气腔与排气腔。活塞的上下两面均可进气或排气。一台泵的进气腔与排气腔可自行串联或并联使用。作为粗真空泵,串联时抽速为25升/秒,压强<15托,功率4千瓦;并联时抽速为50升/秒,压强<30托,功率5.5千瓦。泵的转速均为1440转/分。此泵也可组成机组使用,两泵串联时压强<5×10~(-2)托。文中给出抽速曲线和性能测试结果。 This article describes the bellows sealed vacuum pump. BMB-25 type pump cantilever swing structure, driven by the inclined part of the straw hat-shaped piston rotation and up and down swing. Stainless steel bellows for shaft seal, air tightness depends on the seal structure and pump material. Piston flange with a slot on the tank with a fixed partition. The bulkhead is fixed to the upper and lower pump covers, so that the piston divides the pump chamber into an intake chamber and an exhaust chamber. The upper and lower piston can be both intake or exhaust. A pump inlet chamber and exhaust chamber can be used in series or in parallel. As a rough vacuum pump, the pumping speed in tandem is 25 liters / second, the pressure is less than 15 Torr, the power is 4 kW, the pumping speed in parallel is 50 liters / second, the pressure is less than 30 Torr and the power is 5.5 kilowatts. Pump speed are 1440 rev / min. This pump can also be used to form a unit. When two pumps are connected in series, the pressure is less than 5 × 10 ~ (-2) torr. The article gives the pumping speed curve and performance test results.
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