疏水耐环境型SiO2/TiO2/SiO2-TiO2太阳能宽光谱增透膜的制备及性能研究

来源 :无机材料学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：TRACY101688

【摘要】

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利用TFCcal设计软件构建膜系结构,采用溶胶–凝胶工艺和提拉法在超白玻璃上制备出厚度精确可控的宽光谱、高增透型SiO2/TiO2/SiO2-TiO2减反膜,同时结合甲基三乙氧基硅烷（MTES）

【作者】

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檀满林张礼杰王晓伟马清符冬菊张维丽李冬霜陈建军

【机构】

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深圳清华大学研究院,哈尔滨工业大学深圳研究生院

【出处】

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无机材料学报

【发表日期】

：

2016年4期

【关键词】

：

增透膜疏水型耐环境宽光谱 antireflective films hydrophobic environment resistant wide s

【基金项目】

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深圳市科技计划项目（CXZZ20150323160924557）, 广东省科技计划项目（2014A010106004）, 国家自然科学基金（51302150）

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利用TFCcal设计软件构建膜系结构,采用溶胶–凝胶工艺和提拉法在超白玻璃上制备出厚度精确可控的宽光谱、高增透型SiO2/TiO2/SiO2-TiO2减反膜,同时结合甲基三乙氧基硅烷（MTES）改性碱催化的SiO2溶胶,通过提拉法一次制备出高透过率疏水型薄膜。研究表明,高增透型三层宽光谱减反膜的理论膜层厚度依次为：80.9 nm（内层SiO2-TiO2）、125.0 nm（中间层TiO2）、95.5 nm（外层SiO2）,其在400～700 nm可见光范围内平均透过率实际可高达97.03%以上。多层膜经过

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