一种新型多波长绝对距离干涉测量系统的研究

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介绍了一种新型多波长绝对距离干涉测量系统。系统采用633nm的双纵模He-Ne激光器和629nm的He-Ne激光器,组成三级合成波长链对较大距离进行精密测量,并作了误差分析。系统采用高稳定度的声光晶体对各波长分别进行偏频,再用外差探测法测量出光束通过参考光路和测量光路后的位相差。简要介绍了629nm的He-Ne激光器的设计方案。 A new multi-wavelength absolute distance interferometry system is introduced. The system uses a 633nm dual-mode He-Ne laser and a 629nm He-Ne laser to form a three-stage synthetic wavelength chain for precise measurement of large distances and error analysis. The system uses high-stability acousto-optic crystal to carry on the frequency deviation to each wavelength separately, and then use the heterodyne detection method to measure the phase difference after the light beam passes through the reference light path and the measuring light path. The design of He-Ne laser at 629nm is briefly introduced.
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