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通过对国内IC生产线及其Stepper装备的现状、市场前景的分析，阐述了国内0.2～1um IC生产线中二手Stepper解决方案。
0.2～1um IC生产线中二手Stepper解决方案
【摘 要】
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通过对国内IC生产线及其Stepper装备的现状、市场前景的分析，阐述了国内0.2～1um IC生产线中二手Stepper解决方案。
【机 构】
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上海微高精密机械工程有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2005年3期
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