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介绍了磁控阴极溅射系统的工作原理和故障维修。
磁控溅射镀膜机系统的故障分析
【摘 要】
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介绍了磁控阴极溅射系统的工作原理和故障维修。
【机 构】
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大庆石化总厂物业公司
【出 处】
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吉林建材
【发表日期】
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2004年1期
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