【摘 要】
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利用脉冲激光沉积工艺,分别在单晶Si（100）衬底和玻璃（SiO2）衬底上制备Fe：SmCo/Cu（Cr）薄膜,研究了Fe掺杂对SmCo薄膜结构、磁性能与磁光效应的影响.实验发现,衬底对Fe掺杂SmCo薄膜性能
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利用脉冲激光沉积工艺,分别在单晶Si（100）衬底和玻璃（SiO2）衬底上制备Fe：SmCo/Cu（Cr）薄膜,研究了Fe掺杂对SmCo薄膜结构、磁性能与磁光效应的影响.实验发现,衬底对Fe掺杂SmCo薄膜性能有很大影响,Si衬底薄膜的矫顽力和饱和磁化强度均优于玻璃衬底样品;同时退火温度也会影响Fe掺杂SmCo薄膜形貌及磁性能,高温退火后,SmCo衍射峰得到了增强,尤其是SmCo5的（001）、（002）和（003）衍射峰最为明显,这是由于高温退火后Cu（111）衍射峰增强的缘故.同时发现,退火后的SiO
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