【摘 要】
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用激光扫描和电荧光衰减法测定了液相外延片p-Ga_(1-x)In_xA_(sy) P_(1-y)/InP(x=0.74,y=0.61)的少子扩散长度I_m,并对这二种测试结果进行了比较,结果符合得很好。从这二种独
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所,中国科学院上海冶金研究所
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用激光扫描和电荧光衰减法测定了液相外延片p-Ga_(1-x)In_xA_(sy) P_(1-y)/InP(x=0.74,y=0.61)的少子扩散长度I_m,并对这二种测试结果进行了比较,结果符合得很好。从这二种独立的实验结果获得表面复合速率S。S为6—7×10~4cm/s,扩散长度L_m为1.6～2.2μm。此外对p-G_(ε1-x)In_xA_(sy)P_(1.y)与InP衬底间的少数载流子行为进行了讨论。
The minority carrier diffusion length I_m of p-Ga_ (1-x) In_xA_ (sy) P_ (1-y) / InP (x = 0.74, y = 0.61) was measured by laser scanning and electro-fluorescence decay The results of these two tests are compared and the results are in good agreement. The surface recombination rate S was obtained from these two independent experimental results. S is 6-7 × 10 -4 cm / s, and diffusion length L_m is 1.6-2.2 μm. In addition, the minority carriers between p-G_ (ε1-x) In_xA_ (sy) P_ (1.y) and InP substrate are discussed.
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