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激光打孔广泛应用于印刷电路板处理等领域,在该技术中f-θ透镜起到扫描成像的重要作用.利用折衍混合系统设计了f-θ透镜,在满足性能要求的前提下,减少了透镜的个数,降低了系统成本.该系统采用像方远心光路,工作波长为9.25μm,打孔直径50μm,深度182 μm,扫描面积达70 mm×70 mm.
CO2激光打孔的折衍混合f-θ透镜设计
【摘 要】
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激光打孔广泛应用于印刷电路板处理等领域,在该技术中f-θ透镜起到扫描成像的重要作用.利用折衍混合系统设计了f-θ透镜,在满足性能要求的前提下,减少了透镜的个数,降低了系
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,中国科学院研究生院
【出 处】
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红外与激光工程
【发表日期】
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2004年期
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