【摘 要】
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应用两种结构类似的二维纳米薄膜材料石墨烯和MoS2纳米片设计了一种新型异质结器件.首先利用磁控溅射方法制备出MoS2薄膜,然后在MoS2薄膜上利用化学气相沉积法(CVD)法制备石
【机 构】
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陕西科技大学理学院,陕西科技大学电气与信息工程学院,陕西科技大学材料科学与工程学院
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应用两种结构类似的二维纳米薄膜材料石墨烯和MoS2纳米片设计了一种新型异质结器件.首先利用磁控溅射方法制备出MoS2薄膜,然后在MoS2薄膜上利用化学气相沉积法(CVD)法制备石墨烯;进而采用磁控溅射法沉积铜(Cu)接触电极,并进行表征与测试.在适当的工艺条件下,石墨烯和MoS2结合能够形成具有线性伏安特征的异质结.
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