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随着MOS器件的尺寸越做越小,其辐照效应也随即发生改变,对于小尺寸器件的辐照效应研究也就占据了一个非常重要的位置.对一些器件几何尺寸的辐照效应影响进行了综述.
器件尺寸对MOS器件辐照效应的影响
【摘 要】
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随着MOS器件的尺寸越做越小,其辐照效应也随即发生改变,对于小尺寸器件的辐照效应研究也就占据了一个非常重要的位置.对一些器件几何尺寸的辐照效应影响进行了综述.
【机 构】
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华南理工大学微电子研究所,信息产业部电子第五研究所,华南理工大学微电子研究所
【出 处】
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电子产品可靠性与环境试验
【发表日期】
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2005年5期
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