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文章着重介绍了陶瓷敏感元件厚膜化的必然趋势,简述了粘结工艺的改进情况。通过对典型厚膜敏感元件的性能和工艺的介绍,近一步强调了厚膜化的优点。
陶瓷类厚膜敏感元件及制造工艺
【摘 要】
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文章着重介绍了陶瓷敏感元件厚膜化的必然趋势,简述了粘结工艺的改进情况。通过对典型厚膜敏感元件的性能和工艺的介绍,近一步强调了厚膜化的优点。
【机 构】
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国营4310厂
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1990年4期
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