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主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势。
MEMS概况及发展趋势
【摘 要】
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主要介绍了MEMS的发展背景、研究内容、特点、现状和发展趋势。
【机 构】
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北京大学微电子所
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2002年1期
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