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建立了平板型和球面型行星夹具膜厚均匀性的计算模型。利用根据这些模型编制的计算程序计算了基板表面膜层厚度分布与蒸发源位置、蒸发源发射特性、夹具高度、行星轨半以及行星夹具有倾角之间的关系，并得到了一组典型结果。
行星夹具膜厚均匀性计算
【摘 要】
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建立了平板型和球面型行星夹具膜厚均匀性的计算模型。利用根据这些模型编制的计算程序计算了基板表面膜层厚度分布与蒸发源位置、蒸发源发射特性、夹具高度、行星轨半以及行
【机 构】
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中科院光电技术研究所
【出 处】
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强激光与粒子束
【发表日期】
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2000年3期
【基金项目】
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国家 8 63激光技术领域资助课题
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