集成硅力敏器件的温度和非线性补偿

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本文主要论述了为提高力敏器件的性能和可靠性,进行温度补偿和非线性补偿的工作原理。结合理论计算和实验结果给出外围电路设计的基本依据。讨论了温度与非线性补偿整体化问题。以上面论述结果为基础,给出了一种典型的力敏器件的芯片剖面图。 This paper mainly discusses the working principle of temperature compensation and non-linear compensation in order to improve the performance and reliability of force-sensitive devices. Combined with theoretical calculation and experimental results, the basic design of the peripheral circuit is given. The integration of temperature and nonlinear compensation is discussed. Based on the above discussion, a typical chip cross-section of the force-sensitive device is given.
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