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基于虚拟切片无损测量方法具有测量精度高、成本低、数据测量与处理快、可测量物体内部轮廓等特点。由于测量质量精度高,其测量装置中精密片层质量检测系统精度是研究的关键技术之一,直接影响微小单元体质量的计算精度。运用误差补偿与误差影响因素正交实验等技术手段,对精密片层质量检测系统的误差分析及优化。实验结果证明,实现了片层质量平均相对误差从19.36%降至5.52%,并且在各片层厚度条件下,相对误差皆保持平稳幅度。