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大尺寸直径非接触光电检测系统研究
大尺寸直径非接触光电检测系统研究
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:owenzhong2012
【摘 要】
:
提出了一种基于激光位移测头的大尺寸直径光电测量系统,可用于直径达φ52200mm的大尺寸工件的非接触测量。文章详细论述了测量系统结构、工作原理及同轴度测量方法,并对影响测
【作 者】
:
贲春雨
郑宇
郭蕴纹
陈礼华
张国玉
方杨
宋鸿飞
【机 构】
:
长春理工大学光电工程学院
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
2006年1期
【关键词】
:
大直径
光电检测
非接触
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提出了一种基于激光位移测头的大尺寸直径光电测量系统,可用于直径达φ52200mm的大尺寸工件的非接触测量。文章详细论述了测量系统结构、工作原理及同轴度测量方法,并对影响测量精度的主要误差来源进行了分析,结果表明测量精度达0.02mm。
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