论文部分内容阅读
气浮沉积法简称AD法，是一种新近开发的表面涂层制备方法。属于热喷涂技术范畴。AD法由低真空沉积室，喷咀，粉末雾化宣，机械真空泵等组成。AD法具有沉积温度低（室温），沉积率高，涂层密度高，结合强度高等优点。AD法的一个突出的应用就是制备铁电薄膜陶瓷涂层，如PZT（Pb（Zr，Ti）O3）AD法制备的PZT涂层成分均匀，且由于沉积中的液相烧结机理而致密化。退火处理可以很好地提高PZT涂层的铁电特性。载流气体种类对PZT涂层的结合强度没有明显影响。