【摘 要】
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叙述了一个完整的16通道硅基二氧化硅阵列波导光栅(AWG)的设计、制备及测试过程。通道间隔为0.8nm(100GHz),解复用器的插入损耗为16.8dB,其中材料损耗为11.95dB,相邻通道串扰
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所 北京 100083 ,北京 100083 ,北京 100083 ,北京 100083
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叙述了一个完整的16通道硅基二氧化硅阵列波导光栅(AWG)的设计、制备及测试过程。通道间隔为0.8nm(100GHz),解复用器的插入损耗为16.8dB,其中材料损耗为11.95dB,相邻通道串扰小于-17dB,通道插损非均匀性小于2.2dB。
Describes the design, preparation and testing of a complete 16-channel silicon-on-silicon dioxide arrayed waveguide grating (AWG). Channel spacing of 0.8nm (100GHz), demultiplexer insertion loss of 16.8dB, of which material loss of 11.95dB, adjacent channel crosstalk is less than-17dB, channel insertion loss non-uniformity less than 2.2dB.
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