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采用光束扫描法可灵敏地测量间隙大小和试件尺寸。本文介绍实施中的一些问题,以及配上单板机制成灵敏度高、稳定性好的微位移和微负荷测量装置。该方法对发光元件和光敏元件的性能要求不高,具有广泛的应用前景。
光束扫描法测量微位移和微负荷装置
【摘 要】
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采用光束扫描法可灵敏地测量间隙大小和试件尺寸。本文介绍实施中的一些问题,以及配上单板机制成灵敏度高、稳定性好的微位移和微负荷测量装置。该方法对发光元件和光敏元件
【机 构】
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南京航空学院,南京航空学院
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1988年2期
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