离子束辅助沉积碲化铅薄膜的AFM研究

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利用原子力显微镜(AFM)研究了离子束辅助沉积碲化铅(Pblle)薄膜的微观结构和表面形貌。结果表明,传统热蒸发方法制备的碲化铅薄膜呈现出明显的柱状结构,离子束轰击可以显著改变薄膜的微观结构,导致柱状结构的逐渐消失和晶粒的长大。
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