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期刊论文
离子束辅助沉积碲化铅薄膜的AFM研究
离子束辅助沉积碲化铅薄膜的AFM研究
来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yindiend
【摘 要】
:
利用原子力显微镜(AFM)研究了离子束辅助沉积碲化铅(Pblle)薄膜的微观结构和表面形貌。结果表明,传统热蒸发方法制备的碲化铅薄膜呈现出明显的柱状结构,离子束轰击可以显著改变薄膜
【作 者】
:
熊玉卿
罗崇泰
王多书
马勉军
【机 构】
:
兰州物理研究所
【出 处】
:
真空与低温
【发表日期】
:
2008年1期
【关键词】
:
原子力显微镜
离子束辅助沉积
碲化铅
薄膜
atomic force microscopy (AFM) ion beam assisted deposition
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利用原子力显微镜(AFM)研究了离子束辅助沉积碲化铅(Pblle)薄膜的微观结构和表面形貌。结果表明,传统热蒸发方法制备的碲化铅薄膜呈现出明显的柱状结构,离子束轰击可以显著改变薄膜的微观结构,导致柱状结构的逐渐消失和晶粒的长大。
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