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巴斯夫与IMEC宣布继续拓展联合研发项目。作为进一步合作的领域之一，双方计划研发工艺化学品，这将提高半导体生产中的清洗化学品的性能。研究工作的另一个重点是降低生产工艺复杂性及减少生产步骤。
巴斯夫与IMEC联合为半导体行业开发工艺化学品
【摘 要】
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巴斯夫与IMEC宣布继续拓展联合研发项目。作为进一步合作的领域之一，双方计划研发工艺化学品，这将提高半导体生产中的清洗化学品的性能。研究工作的另一个重点是降低生产工艺复
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2009年8期
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