【摘 要】
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研制成测量材料光学特性的红外椭圆偏振光谱仪,其测量波长范围为2.5~12.5μM,入射角度在20°~90°连续可变.系统数据采集、前放自动增益控制、入射角度和波长设置及扫描均由
【机 构】
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中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室
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研制成测量材料光学特性的红外椭圆偏振光谱仪,其测量波长范围为2.5~12.5μM,入射角度在20°~90°连续可变.系统数据采集、前放自动增益控制、入射角度和波长设置及扫描均由计算机自动控制.给出了金反射率和GAAS体材料折射率椭偏测量,并与其它方法进行了对比,并分析了实验测量技巧和主要实验误差“,”A type of infrared spectroscopic ellipsometer was designed and constructed to study the optical properties of materials in the 2.5￣12.5μm wavelength range. The incident angle was continuously variable between 20° and 90°.The system operations, including data acquisition and reduction, preamplifier gain control, incident angle, wavelength setting and scanning were fully and automatically controlled by a computer. The reflectivity of Au and refractive index of GaAs bulk material, measured by the infrared elli...
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