【摘 要】
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直通-反射-延迟线（TRL）校准相对于短路-开路-负载-直通（SOLT）校准是一种更加准确且易于实现的校准方法，尤其适用于二端口及多端口的非同轴测量。文中针对Wolfspeed公司的氮化镓晶体管CGH40010F的S参数测量问题，分析讨论了TRL校准在网络分析仪中的误差盒模型，在此基础上设计制作了一套TRL校准件，其工作频率范围为1～6 GHz,在此频段内直通和延迟线均达到Sii（i=1,2）幅值
【基金项目】
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国家自然科学基金（U1809203,62071264）；
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直通-反射-延迟线（TRL）校准相对于短路-开路-负载-直通（SOLT）校准是一种更加准确且易于实现的校准方法，尤其适用于二端口及多端口的非同轴测量。文中针对Wolfspeed公司的氮化镓晶体管CGH40010F的S参数测量问题，分析讨论了TRL校准在网络分析仪中的误差盒模型，在此基础上设计制作了一套TRL校准件，其工作频率范围为1～6 GHz,在此频段内直通和延迟线均达到Sii（i=1,2）幅值小于-15 dB,Sij（i,j=1,2;i≠j）幅值大于-0.8 dB;将该校准件特性指标内置到矢量网络分析仪中进行校准测试，实测结果表明，经过TRL校准后的氮化镓晶体管小信号S参数与官方数据手册中一致，验证了该校准测量方法及据此设计制作的TRL校准件是有效的。
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