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德国科学家开发出一种新型硅材料，可被用于加工微处理器或其它微型设备。
新型硅材料
【摘 要】
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德国科学家开发出一种新型硅材料，可被用于加工微处理器或其它微型设备。
【出 处】
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军民两用技术与产品
【发表日期】
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2006年7期
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