【摘 要】
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MEMS技术是在微电子技术基础上结合精密机械技术发展起来的一个新的科学技术领域,且是一个独立的智能系统.它的应用领域十分的宽广,必将在现在和将来的发展中对人类的进步和
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MEMS技术是在微电子技术基础上结合精密机械技术发展起来的一个新的科学技术领域,且是一个独立的智能系统.它的应用领域十分的宽广,必将在现在和将来的发展中对人类的进步和发展提供不可磨灭的支撑作用,将成为推动世界进步的又一有力武器.本文对MEMS技术及其应用进行分析,以期待它的发展前景和技术的最终成熟.
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