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详细介绍了一种平面振动式微硅型加速度计的工作原理，并用理论力学和材料力学阐述了这种加速度计的结构设计方法。
平面振动式微硅型加速度计的结构设计
【摘 要】
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详细介绍了一种平面振动式微硅型加速度计的工作原理，并用理论力学和材料力学阐述了这种加速度计的结构设计方法。
【机 构】
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东南大学
【出 处】
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传感器技术
【发表日期】
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1996年6期
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