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新型应变式厚膜力传感器及其应用
新型应变式厚膜力传感器及其应用
来源 :自动化仪表 | 被引量 : 2次 | 上传用户:daxiang11
【摘 要】
:
介绍一种可用于称重与测力的电阻应变式厚膜力传感器.其弹性体采用95%Al_2O_3陶瓷双孔梁、应变电阻为钌酸盐厚膜应变电阻,并运用厚膜工艺将应变电阻直接印刷、烧结在弹性体上而形成整体.它的量程最高达500N,精度为0.05%,工作温度达-40~+120℃.
【作 者】
:
马以武
常慧敏
【机 构】
:
中国科学院合肥智能机械研究所,中国科学院合肥智能机械研究所,安徽合肥230031
【出 处】
:
自动化仪表
【发表日期】
:
1999年10期
【关键词】
:
力传感器
陶瓷双孔梁
厚膜应变电阻
传感器
Force transducer Ceramic beam with dual holesThick film st
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介绍一种可用于称重与测力的电阻应变式厚膜力传感器.其弹性体采用95%Al_2O_3陶瓷双孔梁、应变电阻为钌酸盐厚膜应变电阻,并运用厚膜工艺将应变电阻直接印刷、烧结在弹性体上而形成整体.它的量程最高达500N,精度为0.05%,工作温度达-40~+120℃.
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