四探针测半导体材料杂质分布

来源 :佳木斯大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jesical1106
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设计一个新的近代物理实验题目.利用阳极氧化法对半导体材料逐次去层,采用四探针法测量其每层的电阻率及相应杂质浓度,可得出半导体材料的杂质分布N(x).实验设备简单,测量方便,结果准确.并提供了自制四探针测量仪的方法.
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