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期刊论文
四探针测半导体材料杂质分布
四探针测半导体材料杂质分布
来源 :佳木斯大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jesical1106
【摘 要】
:
设计一个新的近代物理实验题目.利用阳极氧化法对半导体材料逐次去层,采用四探针法测量其每层的电阻率及相应杂质浓度,可得出半导体材料的杂质分布N(x).实验设备简单,测量方便,结
【作 者】
:
高玮
谢宜臣
【机 构】
:
佳木斯大学理学院物理系
【出 处】
:
佳木斯大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
四探针
半导体材料
杂质分布
four point probe
semiconductor material
impurity distribution
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设计一个新的近代物理实验题目.利用阳极氧化法对半导体材料逐次去层,采用四探针法测量其每层的电阻率及相应杂质浓度,可得出半导体材料的杂质分布N(x).实验设备简单,测量方便,结果准确.并提供了自制四探针测量仪的方法.
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