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考虑到硅片研磨废水浊度高、悬浮固体粒径小及难于沉淀的水质特点,并依据处理水量的增加和后期回用的要求,采用Actiflo(R)砂压载絮凝工艺对现有的混凝沉淀处理装置进行升级改造.改造后处理能力由原来不到20 m3/h提高到40 m3/h,表明Actiflo(R)砂压载絮凝工艺对难处理的高浊度硅片研磨废水具有稳定且良好的处理效果.进水浊度平均值为2 120 NTU,装置处理后出水浊度小于10 NTU,浊度去除率高达99％以上.