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在进行理论分析证实可行性和模拟仿真优化参数后，利用非硅表面微加工方法中的牺牲层工艺制备了一种扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁双稳态机构．该双稳态结构尺寸为1．9mm×1．6mm×0．03mm，通过永磁力实现稳态姿态无功耗保持，通过对其单侧触点施加纵向驱动力使之达到30μm的纵向驱动位移，可以实现机构的双稳态姿态切换，可以通过控制永磁体磁片、悬臂梁和扭梁的尺寸来灵活调控稳态切换所需的驱动力矩，此双稳态机构可与电磁驱动、电热驱动和静电驱动等类型的微驱动器联用构成永磁双稳态MEMS微继电器